按制備工藝，稀土拋光粉的生產制備工藝流程可細分為兩大類，這里主要介紹的是固相反應法，以稀土精礦或鈰富集物為原料的固相反應法。
由礦石直接制備拋光粉可省掉繁雜的化學提取過程，而使生產成本大大降低。氟碳鈰礦石（用REO＞68％的稀土精礦）粉碎、分級、化學處理、過濾、干燥、900℃以上煅燒、粉碎、分級、混合得含 CeO2 50％左右的氟碳鈰礦系拋光粉，礦中的氟和硅對于保證產品的拋光效果起著重要作用。這種以氟碳鈰礦為原料直接煅燒生產稀土拋光粉，無需合成中間體，制備工藝簡單，雖然生產成本大大降低，但所得稀土拋光粉的檔次不高。
